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申请/专利权人：株式会社基恩士
摘要：本发明涉及一种光学式位移计，在向相对移动的工件照射沿X方向延展的狭缝光来测定工件的形状的情况下抑制因多重反射导致的噪声。控制部将图像传感器控制为随着工件的相对移动而依次获取多个受光图像，按每个受光图像，基于受光图像的受光量分布，针对U方向与X方向对应的方向上的每个位置检测V方向与U方向正交的方向上的峰位置候选，针对U方向上的每个位置，生成一个以上的由多个峰位置候选构成的簇，所述多个峰位置候选被选择为任意的受光图像的峰位置候选与其它受光图像的峰位置候选的距离为一定距离以下，基于簇相对于相对移动的方向的倾斜度，来执行关于簇中是否包含噪声的判定，基于判定的结果来生成工件的轮廓数据。
主权项：1.一种光学式位移计，具备：投光部，其向沿与X方向交叉的方向进行相对移动的工件照射沿所述X方向延展的狭缝光；图像传感器，其具有在与所述X方向对应的U方向以及与所述U方向正交的V方向上二维排列的多个像素，所述图像传感器利用所述多个像素接收被所述工件反射所得到的反射光，输出表示受光量分布的受光图像；以及控制部，其基于所述受光图像来生成所述工件的轮廓数据，并基于所述轮廓数据来测定所述工件的形状，其中，所述控制部将所述图像传感器控制为随着所述相对移动而依次获取多个所述受光图像，所述控制部按每个所述受光图像，基于所述受光图像的受光量分布，来针对所述U方向上的每个位置检测所述V方向上的峰位置候选，针对所述U方向上的每个位置，所述控制部生成一个以上的由多个峰位置候选构成的簇，所述多个峰位置候选被选择为任意的所述受光图像的峰位置候选与其它所述受光图像的峰位置候选的距离为一定距离以下，所述控制部基于所述簇相对于所述相对移动的方向的倾斜度，来执行关于所述簇中是否包含噪声的判定，所述控制部基于所述判定的结果来生成所述轮廓数据。
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