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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要：本发明公开了一种尺寸可调节的晶圆夹具，包括装载盘，其特征在于，包括底座，所述底座中心开设有贯穿底座上下表面的圆形通孔，所述装载盘水平设置在圆形通孔内；所述装载盘由若干扇形装载板构成，所有装载板呈圆形均匀分布且装载板的内圆弧半径小于外圆弧半径，每个装载板通过支撑滑动机构设置在底座上且可沿底座通孔径向往复移动，从而可调节装载盘的大小，以用于装载不同尺寸的晶圆；每个装载板外侧设有夹紧机构，用于将晶圆夹紧在装载板上。本发明所述的晶圆夹具尺寸可调节，可用于夹持多种尺寸的晶圆，不但能有效提高工作效率，而且还能降低成本。
主权项：1.一种尺寸可调节的晶圆夹具，包括装载盘，其特征在于，包括底座，所述底座中心开设有贯穿底座上下表面的圆形通孔，所述装载盘水平设置在圆形通孔内；所述装载盘由若干扇形装载板构成，所有装载板呈圆形均匀分布且装载板的内圆弧半径小于外圆弧半径，每个装载板通过支撑滑动机构设置在底座上且可沿底座通孔径向往复移动，从而可调节装载盘的大小，以用于装载不同尺寸的晶圆；每个装载板外侧设有夹紧机构，用于将晶圆夹紧在装载板上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种尺寸可调节的晶圆夹具
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