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申请/专利权人:西安理工大学
摘要:本发明公开了金刚石线切割硅粉表面二氧化硅的去除方法,具体按照以下步骤实施:步骤1,将金刚石切除的废料进行压滤,将压滤出的固体进行真空干燥,得到干燥样品,称取碳前驱体与干燥样品于去离子水或乙醇中进行混合,并将混合后的溶液放置水浴搅拌锅中进行预固化,预固化后进行干燥并研磨过筛得到初始样品;步骤2,将步骤1所得的初始样品放入高温加热装置中加热保温,碳前驱体热解成无定形碳包覆在初始样品上,再加热到预设温度保温后,去除二氧化硅,获得纯硅粉末。本发明的金刚石线切割硅粉表面二氧化硅的去除方法,利用碳前驱体提供碳源,在硅粉表面形成包覆层,利用碳热反应对二氧化硅进行去除,得到纯硅粉末。
主权项:1.金刚石线切割硅粉表面二氧化硅的去除方法,其特征在于,具体按照以下步骤实施:步骤1,将金刚石切除的废料进行压滤,将压滤出的固体进行真空干燥,得到干燥样品,称取碳前驱体与干燥样品于去离子水或乙醇中进行混合,并将混合后的溶液放置水浴搅拌锅中进行预固化,预固化后进行干燥并研磨过筛得到初始样品;步骤2,将步骤1所得的初始样品放入高温加热装置中加热保温,碳前驱体热解成无定形碳包覆在初始样品上,再加热到预设温度保温后,去除二氧化硅,获得纯硅粉末。
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