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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
摘要：本公开提供等离子体型极紫外（LPP‑EUV）光刻光源的一种9微米和10微米双带多线主泵浦CO2激光系统，该系统为激光主振荡器加激光功率放大器结构（MOPA，masteroscillatorandpoweramplifiers），激光主振荡器是一台9μm和10μm双带多线高重复频率短脉冲CO2激光器，激光功率放大器包括前置CO2激光放大器和由多台大功率CO2激光放大器组成的CO2激光放大器链。本公开的双带多线激光谱线的组合，对应CO2分子9μm波长范围跃迁带00°1‑02°0带和10μm波长范围跃迁带00°1‑10°0带中的多条强线。与10.6μm单一谱线或单一的10μm波长范围00°1‑10°0带中的多线激光器比较，本公开LPP‑EUV光刻光源9μm和10μm双带多线主泵浦CO2激光系统输出的激光脉冲能量更高。
主权项：1.一种LPP-EUV光刻光源的9μm和10μm双带多线主泵浦CO2激光系统，包括：9μm和10μm双带多线CO2激光主振荡器、第一光隔离器、前置CO2激光放大器组合、第二光隔离器以及CO2激光放大器链；其中，所述9μm和10μm双带多线脉冲CO2激光主振荡器的激光谱线的组合对应CO2分子9μm波长范围跃迁带00°1-02°0带和10μm波长范围跃迁带00°1-10°0带中的各3至6条强线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 LPP-EUV光刻光源的9μm和10μm双带多线主泵浦CO2激光系统
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