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申请/专利权人：山西大学

摘要：本发明公开了基于腔衰荡和腔增强技术的高反射镜测量装置及定标方法，属于激光光谱技术领域。针对现有腔衰荡技术对光学镜片进行检测的装置中无法分别测量两片反射镜的反射率，极大程度地影响了检测效率，且过程繁琐、精度要求高，难以实现自动化检测的问题，本发明将腔衰荡技术与腔增强技术相结合，使用偏振分束棱镜使光路发生方向转变，通过转动二分之一波片即可由偏振分束棱镜实现两路光路之间的变换，操作简单，同时能保证两边光路的光程和匹配的一致性。

主权项：1.基于腔衰荡和腔增强技术的高反射镜测量装置，其特征在于，所述装置包括：光纤激光器1，声光调制器2，电光调制器3，光纤准直头4，空间光隔离器5，匹配透镜6，二分之一波片7，第一反射镜8，偏振分束棱镜9，第二反射镜10，第三反射镜11，第一半透半反射镜12，第一四分之一波片13，第一高反射率镜片14，压电陶瓷15，第二高反射率镜片16，第二四分之一波片17，第二半透半反射镜18，第一光电探测器19，第四反射镜20，第二光电探测器21，第三光电探测22，功率放大器23，压控振荡器24，第一比例微分积分控制器25，20mHz射频信号26，功率分束器27，移相器28，混频器29，低通滤波器30，第二比例微分积分控制器31；光纤激光器1通过光纤与声光调制器2的输入端连接，声光调制器2的输出端通过光纤与电光调制器3的输入端相连接，电光调制器3的输出端通过光纤与光纤准直头4相连接，在光纤准直头4的出射光路上依次布置有空间光隔离器5，匹配透镜6，二分之一波片7，第一反射镜8；第一反射镜8的光路出射到偏振分束棱镜9后被分成两条光路，在其中一条光路上设置有第二反射镜10、第三反射镜11、第一半透半反射镜12、第一四分之一波片13、第一高反射率镜片14、压电陶瓷15、第二高反射率镜片16、第二四分之一波片17、第二半透半反射镜18、第一光电探测器19；在另一条光路上设置有第四高反射率镜片20，第二半透半反射镜18，第二四分之一波片17，第二高反射率镜片16压电陶瓷15，第一高反射率镜片14，第一四分之一波片13，第一半透半反射镜12，第二光电探测器21以及第三光电探测器22；第一比例微分积分控制器25的输出端通过射频连接线与压控振荡器24的输入端连接，压控振荡器24的输出端通过射频连接线与功率放大器23的输入端连接，功率放大器23的输出端通过射频连接线与声光调制器2连接；20mHz射频信号26输入到功率分束器27，功率分束器27的其中一路输出通过射频连接线与电光调制器3的射频输入端连接，另一路输出通过射频连接线与移相器28的输入端连接，移相器28的输出端通过射频连接线与混频器29的输入端连接，混频器29的输出端通过射频连接线与低通滤波器30的输入端连接，低通滤波器30的输出端通过射频连接线分别与第一比例微分积分控制器25的入射端和第二比例微分积分控制器31的输入端连接，第二比例微分积分控制器31输出端通过射频连接线与光纤激光器1反馈端连接。

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