龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：合肥开悦半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种处理液供给方法及其应用装置，包括如下步骤：步骤A：泵体抽取容器瓶内侧的处理液输送至过滤器，过滤器对处理液过滤；步骤B：过滤后输送至分配阀，分配阀将处理液供给至喷嘴；其中，在步骤B中分配阀停止供给时，分配阀的阀门靠近阀体时降低速度；分配阀开始供给时，分配阀的阀门开启速度由慢速到快速；本专利便于以一个由快减慢的速度使阀门与阀体接触，使得阀门与阀体的冲击力较小，从而降低处理液中混入的颗粒杂质，避免使用恒定的速率或过快开合阀门速度来控制分配阀，易产生颗粒杂质，本专利可以很好的降低处理液在输送供给时产生的颗粒杂质，有效保障处理液的洁净程度。
主权项：1.一种处理液供给方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤A：泵体抽取容器瓶内侧的处理液输送至过滤器，过滤器对处理液过滤；步骤B：过滤后输送至分配阀，分配阀将处理液供给至喷嘴；其中，在步骤B中分配阀停止供给时，分配阀的阀门靠近阀体时降低速度；分配阀开始供给时，分配阀的阀门开启速度由慢速到快速。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥开悦半导体科技有限公司 一种处理液供给方法及其应用装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号