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申请/专利权人：中科艾尔(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体件制造领域，具体提供一种四氯化铪源瓶原材料添加装置。该装置包括源瓶移动机构和下料机构两部分，源瓶移动机构中，源瓶沿第一导轨移动设置，且源瓶由开关杆和开关销构成的联结体驱动旋转，开关销沿第二导轨移动带动源瓶；下料机构中，翻斗固定连接一旋转杆，旋转杆另一端与驱动杆螺纹连接，驱动杆的另一端固定有开关球，开关球活动配置在第二导轨上开设的通孔内，开关销移动行程中能够碰触到所述开关球。本发明解决了人工下料繁琐且不均匀，筛网与源瓶蛇形通道又不好对应的问题。
主权项：1.一种四氯化铪源瓶原材料添加装置，其特征在于：包括源瓶移动机构和下料机构；所述源瓶移动机构包括源瓶300、第一导轨100、第二导轨410、开关杆430和开关销431，所述源瓶300沿第一导轨100移动设置，且所述源瓶300由开关杆430和开关销431构成的联结体驱动旋转，其中所述开关销431沿第二导轨410移动；所述下料机构包括料仓600、翻斗500、下料筒400和筛网440，所述料仓600、翻斗500、下料筒400和筛网440自上而下设置于第一导轨100上方，所述翻斗500的转轴固定连接一旋转杆510，所述旋转杆510另一端与一驱动杆420螺纹连接，所述驱动杆420的另一端固定有开关球421，所述开关球421活动配置在第二导轨410上开设的通孔内，所述开关销431移动行程中能够碰触到所述开关球421。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科艾尔(北京)科技有限公司 一种四氯化铪源瓶原材料添加装置
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