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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：电子器件处理设备，包括具有环境控制的工厂接口腔室和允许净化腔室过滤器的净化控制设备。过滤器净化设备包括腔室过滤器和冲洗气体供应器，冲洗气体供应器经构造以在通向该工厂接口腔室的通道门被打开时将冲洗气体供应至该腔室过滤器，以允许通向该工厂接口腔室的人员安全维修通道。对该腔室过滤器的冲洗气体的供应最小化在该通道门打开时由工厂周围空气引起的对该腔室过滤器的湿气污染，从而允许在工厂接口维修之后迅速恢复基板处理。描述了净化控制方法及设备，以及诸多其他方面。
主权项：1.一种系统，包括：过滤器净化设备，所述过滤器净化设备经构造以：向工厂接口腔室供应净化气体，以控制所述工厂接口腔室内的一个或多个环境条件；以及向所述工厂接口腔室供应冲洗气体，所述冲洗气体与打开所述工厂接口腔室的端口相关联地供应到所述工厂接口腔室的位于腔室过滤器上游的一部分，以最小化由周围空气引起的对所述腔室过滤器的湿气污染，其中所述端口的所述打开破坏所述工厂接口腔室的受控环境。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 具有工厂接口腔室过滤器净化的基板处理设备及方法
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