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申请/专利权人：湖北九峰山实验室
摘要：本发明涉及一种MEMS电容差分传感器及麦克风，其中电容差分传感器包括：双层振膜、背板和基底，其中双层振膜与背板形成差分电容；所述双层振膜的端部沿周向上设有多个密封结构，所述多个密封结构用于将双层振膜的非固定部分密封，并使所述非固定部分形成低压区域；所述密封结构与所述双层振膜端部之间形成狭缝，所述狭缝自双层振膜的顶层振膜贯穿底层振膜直至基底；所述狭缝在远离所述双层振膜的一侧设有隔离槽，所述隔离槽将所述双层振膜的电极分隔为多个部分。本发明通过密封双膜结构，降低麦克风噪声，并提高振膜的有效面积。
主权项：1.一种MEMS电容差分传感器，包括：双层振膜、背板和基底，其中双层振膜与背板形成差分电容，其特征在于，所述双层振膜的端部沿周向上设有多个密封结构，每个密封结构用于将双层振膜的非固定部分密封，并使所述非固定部分形成低压区域；所述密封结构与所述双层振膜端部之间形成狭缝，所述狭缝自双层振膜的顶层振膜贯穿底层振膜直至基底；所述狭缝在远离所述双层振膜的一侧设有隔离槽，所述隔离槽将所述双层振膜的电极分隔为多个部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北九峰山实验室 一种MEMS电容差分传感器、麦克风
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