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申请/专利权人：太原科技大学
摘要：本发明提供了一种用于Cl2检测的半导体传感器及制备方法，属于气体传感器技术领域。本发明所得的用于Cl2检测的半导体传感器，包括电极片和附着于电极片上的气敏层；所述气敏层由In2O3MXene材料制成，所述In2O3MXene材料由纳米In2O3和V2CTxMXene复合制成。制备过程利用简单的超声法就可以得到In2O3MXene复合材料，这种合成方法简单易操作，成本低；对Cl2的检测具有选择性，可以抵抗其他气体的干扰；能在室温下工作，大大减少功耗，并且响应灵敏度高，还能实现对低浓度Cl2的高灵敏检测。
主权项：1.一种用于Cl2检测的半导体传感器，其特征在于，包括电极片和附着于电极片上的气敏层；所述气敏层由In2O3MXene材料制成；所述In2O3MXene材料由纳米In2O3和V2CTxMXene复合制成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 太原科技大学 一种用于Cl2检测的半导体传感器及制备方法
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