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申请/专利权人：内蒙古亨芯石英有限公司;江苏亨芯石英科技有限公司
摘要：本发明公开了一种多喷灯CVD合成大尺寸石英玻璃的方法，包括如下步骤：喷灯点火对炉膛进行预热升温；向每个喷灯通入氢气、氧气和四氯化硅，至炉膛内的温度和压力处于稳定状态；增大每个喷灯的氢气、氧气和四氯化硅的通入流量，驱动承载体旋转并提升至基准点开始沉积至承载体深度的90%；停止外环喷灯的四氯化硅通入，继续在沉积坨表面沉积至目标高度；停止原料通入，自然冷却后卸坨。本发明采用呈内环、中环和外环设置的多组喷灯，喷灯火焰互不干涉，可精确控制炉温分布，提高了大尺寸合成石英坨的均匀性，同时提高了预热效率和沉积效率；控制稳定沉积两个阶段不同环喷灯的原料供应，实现大尺寸合成石英砣的均匀、稳定沉积。
主权项：1.一种多喷灯CVD合成大尺寸石英玻璃的方法，其特征在于，所述喷灯的分布呈内环、中环和外环设置，所述方法包括如下步骤：S1、点火烘炉阶段：向每个喷灯通入氢气和氧气，喷灯点火对沉积炉的炉膛进行预热升温；S2、预沉积阶段：向每个喷灯通入氢气、氧气和四氯化硅，至炉膛内的温度和压力处于稳定状态；S3、稳定沉积第一阶段：增大每个喷灯的氢气、氧气和四氯化硅的通入流量，驱动承载体旋转并提升至基准点开始沉积，在承载体内持续沉积至承载体深度的90%；S4、稳定沉积第二阶段：停止外环喷灯的四氯化硅通入，并降低内环和中环喷灯的四氯化硅的通入流量，在承载体内持续沉积至承载体满后，继续在沉积坨表面沉积至目标高度；S5、保温及卸坨阶段：停止内环、中环喷灯的四氯化硅通入，且停止每个喷灯的氧气和氢气的通入，沉积砣在炉内自然冷却后卸坨。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古亨芯石英有限公司 江苏亨芯石英科技有限公司 一种多喷灯CVD合成大尺寸石英玻璃的方法
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