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申请/专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司

摘要：本申请公开了一种抛光液供给装置以及供给方法，该抛光液供给装置包括壳体、第一供给模块、堵塞检测模块、碎晶模块和第二供给模块，第一供给模块设置于壳体内；堵塞检测模块包括筛选单元和流量监测单元，筛选单元设置于第一供给模块下方；流量监测单元设置于壳体内；碎晶模块设置于筛选单元外侧；第二供给模块具有至少2个第一喷管和至少2个第二喷管，至少2个第一喷管分别向壳体的内壁的第一区域和第二区域供给冲刷流体；至少2个第二喷管分别设置于第一喷管的两侧，第二喷管喷出的气体在壳体的内壁上形成两个阻流区，第一喷管喷出的冲刷液体位于两个阻流区内以形成有冲刷区。通过上述设置，可以提高供给装置对结晶物的检测能力。

主权项：1.一种抛光液供给装置，其特征在于，包括：壳体100；第一供给模块200，所述第一供给模块200设置于所述壳体100内，用于供给抛光液；堵塞检测模块300，所述堵塞检测模块300包括：筛选单元310，所述筛选单元310设置于所述第一供给模块200下方，用于将所述壳体100内的抛光液中的结晶物筛选出并阻止所述结晶物下落；流量监测单元320，所述流量监测单元320设置于所述壳体100内，用于获取所述壳体100内抛光液的流量信息以确定所述筛选单元310的堵塞状态；碎晶模块400，所述碎晶模块400设置于所述筛选单元310外侧，作用于所述筛选单元310，且基于所述筛选单元310的堵塞状态，以对所述筛选单元310上的结晶物执行相应的碎晶操作；以及第二供给模块500，所述第二供给模块500具有：至少2个第一喷管510，至少2个所述第一喷管510分别向所述壳体100的内壁的第一区域110和第二区域120供给冲刷流体，以将所述壳体100内壁上的结晶物冲刷至所述筛选单元310上；其中，所述筛选单元310位于所述第一区域110与所述第二区域120之间；至少2个第二喷管520，至少2个所述第二喷管520分别设置于所述第一喷管510的两侧，所述第二喷管520喷出的气体在所述壳体100的内壁上形成两个阻流区170，所述第一喷管510喷出的冲刷液体位于两个所述阻流区170内以形成有冲刷区160，使得所述冲刷区160内的结晶物集中流向所述筛选单元310上。

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