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申请/专利权人:厦门天马光电子有限公司
摘要:本申请涉及一种升华物处理装置及光配向烘烤机,升华物处理装置包括箱体和进气管,箱体包括进气口和排气口,箱体内盛放有有机溶剂,有机溶剂的液面位于进气口和排气口的下方,进气管位于进气口内,并且进气管的至少部分位于有机溶剂内,使废气通过进气管通入有机溶剂内,有机溶剂能够溶解废气中的升华物或与废气中的升华物反应,在废气通入有机溶剂后,还会与有机溶剂发生热交换,使升华物冷凝,然后经过有机溶剂处理后的废气浮到有机溶剂表面通过排气口排出箱体。有机溶剂与高温废气热交换后,会使有机溶剂的温度升高,升华物处理装置还包括散热装置,散热装置位于箱体外侧,以降低箱体内有机溶剂的温度,有利于提高对升华物的处理效率。
主权项:1.一种升华物处理装置,其特征在于,所述升华物处理装置包括:箱体,所述箱体还包括进气口和排气口;所述箱体内盛放有有机溶剂,所述有机溶剂的液面位于所述进气口和所述排气口下方;进气管,所述进气管位于所述进气口内,并且所述进气管的至少部分位于所述有机溶剂内;散热装置,所述散热装置位于所述箱体外侧。
全文数据:
权利要求:
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