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申请/专利权人：南方科技大学
摘要：本发明提供一种金刚石抛光方法、金刚石及其抛光设备，包括：将金刚石的待抛光面与抛光盘相贴合，并使待抛光面与抛光盘相互挤压；使携带有氧自由基和羟基自由基的低温等离子体对金刚石进行持续辐照，以使低温等离子体在预设低温条件下对金刚石进行活化改性作用，在待抛光面上持续生成活性化学键；抛光盘对待抛光面进行抛光作业，以使活性化学键断裂；通过活性化学键生成与断裂的循环往复，以使待抛光面的原子层逐层去除，实现对金刚石的待抛光面的抛光。本申请在低温条件下，通过原子层逐层去除的方式实现精细抛光，减少了金刚石表面及亚表面的损伤，抛光过程温和，抛光效果良好。由此得到的金刚石，表面达到原子级光滑程度，不会出现塌边情况。
主权项：1.一种金刚石抛光方法，其特征在于，所述方法包括：将金刚石的待抛光面与抛光盘相贴合，并使所述待抛光面与所述抛光盘相互挤压；使用携带有氧自由基和羟基自由基的低温等离子体对所述金刚石进行持续辐照，以使所述低温等离子体在预设低温条件下对所述金刚石进行活化改性作用，在所述待抛光面上持续生成活性化学键；所述抛光盘对所述待抛光面进行持续抛光作业，以使所述活性化学键断裂；通过所述活性化学键生成与断裂的循环往复，以使所述待抛光面的原子层逐层去除，实现对所述金刚石的所述待抛光面的抛光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南方科技大学 一种金刚石抛光方法、金刚石及其抛光设备
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