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申请/专利权人：无锡沃尼克半导体科技有限公司

摘要：本发明涉及抛光设备技术领域，公开了一种半导体用石英轴抛光装置，包括支撑夹持单元、旋转抛光单元和擦拭单元。本发明，驱动电机可以带动支撑夹持单元内部夹持的石英轴旋转，并且驱动电机通过皮带带动丝杆轴旋转，进而带动抛光电机带动抛光盘在石英轴上移动，由于石英轴是旋转的，而抛光盘是水平移动，故而抛光盘可以对石英轴整体进行抛光，不需要单独移动抛光位置，进而使得整个抛光效率提高，其中擦拭单元内部的吸水海绵擦可以跟随旋转抛光单元进行移动，且移动的时候，吸水海绵擦可以对所抛光完毕的石英轴进行擦拭，使得表面残留的抛光液被吸水海绵擦所吸附，使得抛光完毕后，保证石英轴的洁净性，适合广泛推广和使用。

主权项：1.一种半导体用石英轴抛光装置，包括支撑夹持单元（100）、旋转抛光单元（200）和擦拭单元（300），其特征在于：所述支撑夹持单元（100）包括操作台（101），所述操作台（101）一侧安装有第一固定座（103），所述操作台（101）另一侧安装有第二固定座（1031），所述第一固定座（103）安装有三爪卡盘（1033），且三爪卡盘（1033）上夹持设置有石英轴（400）；所述旋转抛光单元（200）包括驱动电机（201），所述驱动电机（201）输出轴末端和三爪卡盘（1033）转动中心连接，且驱动电机（201）输出轴上安装有驱动带轮（202），所述驱动带轮（202）上套接设置有皮带（2021），所述皮带（2021）另一侧套接设置有从动带轮（2022），所述从动带轮（2022）转动中心安装有丝杆轴（203），所述丝杆轴（203）上套接设置有丝杆套环（2032），所述丝杆套环（2032）底部安装有电动推杆（204），所述电动推杆（204）上安装有抛光电机（2041），所述抛光电机（2041）输出端安装有抛光盘（2042），所述抛光盘（2042）外侧包裹设置有安装罩（2043），且安装罩（2043）上安装有喷头（205），且喷头（205）与石英轴（400）竖直对应；所述擦拭单元（300）包括吸水海绵擦（301），所述吸水海绵擦（301）底座安装有挤压板（3011），所述挤压板（3011）底部安装有插杆（3021），所述插杆（3021）末端安装有压杆（3024），所述压杆（3024）底部滑动设置有定位轨道（303），且定位轨道（303）上安装有若干对凸起（3031），所述插杆（3021）上套接设置有定位套（302），所述定位套（302）侧壁安装有L形支架（304），且L形支架（304）和丝杆套环（2032）相互连接。

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