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申请/专利权人：江苏海泰光电材料科技股份有限公司
摘要：本发明涉及靶材制备技术领域，具体为一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：制备靶材喷涂粉末、喷雾干燥，使掺杂元素均匀分布于粉末中、喷涂工件基体加工处理、喷涂工件打底层、采用大气等离子喷涂工艺，在工件上喷涂靶材喷涂粉末，形成有效涂层、喷涂完成后进行工件机加工处理；该发明可根据实际需求在氮化钛靶材喷涂原料中添加不同的金属粉末，实现晶格常数可调，以匹配基体晶格尺寸，从而提高喷涂层与基体的结合率，从而提高靶材导电率。
主权项：1.一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：制备靶材喷涂粉末：靶材喷涂粉末成分为Ti1-XNMX；其中，M为掺杂元素；S2：喷雾干燥，使掺杂元素均匀分布于粉末中；S3：喷涂工件基体加工处理；S4：喷涂工件打底层；S5：采用大气等离子喷涂工艺，在工件上喷涂S1中所制备的粉末，形成有效涂层；S6：喷涂完成后进行工件机加工处理。
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权利要求：
百度查询： 江苏海泰光电材料科技股份有限公司 一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法
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