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申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：一种驱动装置100，用于驱动和测量致动器200，致动器用于致动光学系统300的光学元件310，驱动装置包括：驱动单元110，其具有频率相关第一转移函数G1，第一转移函数G1配置成放大具有至少第一频率范围F1和第二频率范围F2的时间相关AC电压信号W，以形成用于致动器200的驱动电压AS，使得第一频率范围F1相对于第二频率范围F2以特定因子经受更高的增益；电压测量单元120，其用于提供测量电压U并配置为在时域中将致动器200的时间相关电压u与第二转移函数G2进行卷积运算，第二转移函数G2基于第一转移函数G1的反函数，随后所述测量时间相关电压以提供测量电压U；以及电流测量单元130，其用于提供测量电流I并配置为在时域中将致动器200的时间相关电流i与第三转移函数G3进行卷积运算，第三转移函数G3基于第一转移函数G1的反函数，以及配置为随后测量时间相关电流以提供测量电流I。
主权项：1.一种驱动装置100，用于驱动及测量致动器200，该致动器用于致动光学系统300的光学元件310，该驱动装置包含：驱动单元110，其具有频率相关第一转移函数G1，该第一转移函数G1配置成放大具有至少第一频率范围F1和第二频率范围F2的时间相关的AC电压信号W，以形成用于该致动器200的驱动电压AS，如此，该第一频率范围F1按特定因子相对于该第二频率范围F2经受更高的增益；电压测量单元120，用于提供测量电压U；配置成在时域中将该致动器200的时间相关电压u与第二转移函数G2进行卷积运算，该第二转移函数G2基于该第一转移函数G1的反函数；并配置成随后测量该时间相关电压以提供该测量电压U；以及电流测量单元130，用于提供测量电流I；配置成在时域中将该致动器200的时间相关电流i与第三转移函数G3进行卷积运算，该第三转移函数G3基于该第一转移函数G1的反函数；并配置成随后测量该时间相关电流以提供该测量电流I。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 驱动装置、光学系统、与光刻设备
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