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申请/专利权人：哈尔滨工业大学;河南省科学院激光制造研究所
摘要：本发明公开了一种Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器及制备方法，属于MOFs材料传感领域。本发明的Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器由超快激光对Cu‑BTC单晶表面诱导加工产生的平面叉指电极和叉指指间未加工的Cu‑BTC单晶材料组成，平面电极通过以下制备：S1：制备待加工面的长宽均大于等于100μm的Cu‑BTC单晶样品；S2：利用超快激光加工装置在设定激光加工参数下对步骤S1中的Cu‑BTC单晶样品进行超快激光诱导加工，得到平面叉指电极；其中，超快激光波长为1030nm，脉宽t为1.2ps≤t≤10ps，加工功率P为3mW≤P≤8mW，扫描速度v为200μms≤v≤360μms，加工间隔为1μm，聚焦光斑为4μm。本发明的Cu‑BTC单晶电阻式湿度传感器对湿度的检测范围可达5%~90%RH，响应时间最快可达2s，具有良好的选择性、稳定性和循环性。
主权项：1.一种Cu-BTC单晶电阻式湿度传感器，其特征在于：所述Cu-BTC单晶电阻式湿度传感器由超快激光对Cu-BTC单晶表面诱导加工产生的平面叉指电极和叉指指间未加工的Cu-BTC单晶材料组成，其中平面叉指电极作为电学结构，叉指指间未加工的Cu-BTC单晶材料作为敏感材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 河南省科学院激光制造研究所 一种Cu-BTC单晶电阻式湿度传感器及制备方法
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