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申请/专利权人：上海瑞立柯信息技术有限公司
摘要：本发明属于空间光调制器技术领域，公开了一种空间光调制器面型缺陷检测系统及方法，所述系统包括：上位机、空间光调制器、准直光源和采集器，空间光调制器和采集器均与上位机通信连接；准直光源用于输出光束，光束射入到空间光调制器的靶面；空间光调制器用于加载以预设中心进行旋转的柱透镜相位图，以柱透镜相位图对光束进行调制，发射出线光斑；采集器用于在柱透镜相位图旋转的过程中采集空间光调制器发射出的线光斑的图案；并将采集到的线光斑的图案上传至上位机；上位机用于对线光斑的图案进行可视化展示，并对线光斑的图案进行缺陷分析，得到空间光调制器面型缺陷检测结果。本发明实现空间光调制器的在线检测，快速筛选面型存在缺陷的产品。
主权项：1.一种空间光调制器面型缺陷检测系统，其特征在于，所述系统包括：上位机、空间光调制器、准直光源和采集器，所述空间光调制器和采集器均与上位机通信连接；所述准直光源用于输出光束，所述光束射入到空间光调制器的靶面上；所述空间光调制器用于加载以预设中心进行旋转的柱透镜相位图，以柱透镜相位图对光束进行调制，发射出线光斑；所述采集器用于在柱透镜相位图旋转的过程中采集空间光调制器发射出的线光斑的图案；并将采集到的线光斑的图案上传至上位机；所述上位机用于对线光斑的图案进行可视化展示，并对线光斑的图案进行缺陷分析，得到空间光调制器面型缺陷检测结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海瑞立柯信息技术有限公司 一种空间光调制器面型缺陷检测系统及方法
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