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承载盘及检测设备 

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申请/专利权人:上海探跃半导体设备有限公司

摘要:本实用新型属于掩膜版检测技术领域,尤其涉及一种承载盘及检测设备。该承载盘包括盘体、容置槽和第一吸气孔,容置槽设于盘体上,掩膜版置于容置槽内并与容置槽的侧壁抵接,容置槽的侧壁能限制掩膜版沿水平方向产生位移;第一吸气孔设于容置槽的承载面上,第一吸气孔能吸附掩膜版,以限制掩膜版沿竖直方向产生位移。容置槽的侧壁与第一吸气孔共同作用,解决了现有技术中旋转承载盘的过程中,掩膜版会产生相对位移的问题,提高了掩膜版的检测效率及检测结果的准确性。

主权项:1.承载盘,其特征在于,包括:盘体10;容置槽20,所述容置槽20设于所述盘体10上,掩膜版置于所述容置槽20内并与所述容置槽20的侧壁抵接,所述容置槽20的侧壁能限制所述掩膜版沿水平方向产生位移;第一吸气孔30,所述第一吸气孔30设于所述容置槽20的承载面上,所述第一吸气孔30能吸附所述掩膜版,以限制所述掩膜版沿竖直方向产生位移。

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权利要求:

百度查询: 上海探跃半导体设备有限公司 承载盘及检测设备

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