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申请/专利权人：上海芯鸿霖半导体设备有限公司
摘要：本实用新型涉及研磨液回收装置领域，公开了一种具有消磁功能的研磨液回收装置，包括保护壳，所述保护壳上端贯穿设置有进料管，所述保护壳内顶面固定设置有消磁收集机构，所述保护壳内底面一侧固定设置有研磨液收集装置，所述消磁收集机构一侧固定设置有磁性粉尘收集装置，所述研磨液收集装置一侧靠下固定设置有出料管，所述消磁收集机构包括收集外壳，所述收集外壳下端固定设置有电磁铁，所述收集外壳内底面转动设置有圆锥块，所述圆锥块上端固定设置有圆管，所述圆管内部开设有卡槽。本实用新型中，通过消磁收集机构将需要回收的液体分为两部分，液体和带有磁性的颗粒分开进行回收，方便后续的回收和利用。
主权项：1.一种具有消磁功能的研磨液回收装置，包括保护壳1，其特征在于：所述保护壳1上端贯穿设置有进料管2，所述保护壳1内顶面固定设置有消磁收集机构7，所述保护壳1内底面一侧固定设置有研磨液收集装置3，所述消磁收集机构7一侧固定设置有磁性粉尘收集装置5，所述研磨液收集装置3一侧靠下固定设置有出料管4；所述消磁收集机构7包括收集外壳701，所述收集外壳701下端固定设置有电磁铁702，所述收集外壳701内底面转动设置有圆锥块703，所述圆锥块703上端固定设置有圆管704，所述圆管704内部开设有卡槽714；所述收集外壳701内表面一侧固定设置有支撑杆707，所述支撑杆707一侧固定设置有限位套708，所述限位套708内部滑动设置有升降卡杆709，所述升降卡杆709杆身一侧固定设置有清理扫板713，所述升降卡杆709上端固定设置有漂浮气袋710。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海芯鸿霖半导体设备有限公司 一种具有消磁功能的研磨液回收装置
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