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申请/专利权人：联盛半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型公开了可适应不同形状硅片的清洗篮，涉及硅片加工技术领域，包括两前后对称设置的面板，两面板通过若干梳子形定位装置相连；各面板上相同位置设有两长条通孔，各面板上两长条通孔的底端间距小于其顶端间距；两面板相同位置的长条通孔之间活动连接有纵杆；纵杆靠近清洗篮形心侧纵向排列有若干第二梳齿；各纵杆螺纹连接有压紧环轮，纵杆的面板与压紧环轮之间设有压紧垫环。本实用新型具有可以调节以适应不同尺寸的硅片，保护硅片在清洗提篮清洗中不损坏，增加在清洗提篮中硅片稳定性优点。
主权项：1.可适应不同形状硅片的清洗篮，其特征在于：包括两前后对称设置的面板，两面板通过若干梳子形定位装置相连；各面板上相同位置设有两长条通孔，各面板上两长条通孔的底端间距小于其顶端间距；两面板相同位置的长条通孔之间活动连接有纵杆；纵杆靠近清洗篮形心侧纵向排列有若干第二梳齿；各纵杆的前端位于清洗篮中心前方的面板前侧，纵杆的前端螺纹连接有压紧环轮，纵杆上位于清洗篮中心前方的面板与压紧环轮之间设有压紧垫环，或者，各纵杆的后端位于清洗篮中心后方的面板后侧，纵杆的后端螺纹连接有压紧环轮，纵杆上位于清洗篮中心后方的面板与压紧环轮之间设有压紧垫环，或者，两纵杆中，其中一纵杆的前端位于清洗篮中心前方的面板前侧，所述纵杆的前端螺纹连接有压紧环轮，所述纵杆上位于清洗篮中心前方的面板与压紧环轮之间设有压紧垫环；另一纵杆的后端位于清洗篮中心后方的面板后侧，所述纵杆的后端螺纹连接有压紧环轮，所述纵杆上位于清洗篮中心后方的面板与压紧环轮之间设有压紧垫环。
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