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申请/专利权人：厦门中材航特科技有限公司
摘要：本发明涉及一种钽‑碳化钽复合涂层制品及制备方法，利用化学气相沉积方法将无机钽卤化物气化后与氢气、烯烃在基材表面形成钽‑碳化钽复合涂层。本发明可使基材有效获得优良的抗腐蚀、抗摩擦性能，同时具有能够有效控制基材中杂质成分外溢，改善表面光洁度，提高产品美观度的效果，并且实现了工业规模化生产。
主权项：1.一种钽-碳化钽复合涂层的制备方法，通过化学气相沉积法在基材上形成钽-碳化钽复合涂层，其特征在于，包括以下步骤：①加热步骤：将基材置于CVD的反应室中，对反应室抽真空，进行加热，所述加热温度为800～1100℃；②钽涂层沉积步骤：在加热步骤之后，将五氯化钽或五氟化钽气化后，与氢气通入反应室，在3000Pa到6000Pa气压，反应温度800～1100℃下保持，在基材表面沉积钽涂层；③降温步骤：停止通入反应气，进行降温，温度降到550～750℃时开始保温；④碳化钽涂层沉积步骤：将五氯化钽或五氟化钽气体、混合烯烃以及氢气混合气体通入反应室，在5000Pa到10000Pa气压、反应温度550～750℃下，在钽涂层表面沉积碳化钽涂层，制得钽-碳化钽复合涂层材料；所述混合烯烃是乙烯与丙烯的混合；所述五氯化钽或五氟化钽气体与氢气的体积比例为1:1～2.5；所述五氯化钽或五氟化钽气体与混合烯烃的体积比例为1:1～2；所述混合烯烃中乙烯与丙烯的体积比例为1:1～2；⑤冷却步骤：在上述步骤之后，将所述的钽-碳化钽涂层制品冷却到常温。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门中材航特科技有限公司 一种钽-碳化钽复合涂层的制备方法及其制品
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