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申请/专利权人：深圳市希立仪器设备有限公司
摘要：本申请涉及一种用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，包括设于真空环境中的电离室和与电离室相连通的检测器，电离室包括灯丝和永久磁体，灯丝通过电流产生电子并设于永久磁体的磁场中，永久磁体将电子和化合分子发生碰撞，形成带电荷的离子，检测器将带电荷的离子转化为电信号，系统还包括气体分析模块、信号分析模块，气体分析模块靠近灯丝，用于实时侦测灯丝释放的金属蒸气浓度；信号分析模块与检测器电连接，用于实时监测电信号的波动；当灯丝释放的金属蒸气浓度超过预设的第一阈值，并且电信号的波动超过预设的第二阈值时，系统则会自动诊断灯丝存在故障，并提醒操作人员。从而及时发现和诊断气密性检测设备的故障来源为灯丝老化。
主权项：1.一种用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，包括设于真空环境中的电离室和与所述电离室相连通的检测器，所述电离室包括灯丝和永久磁体，所述灯丝通过电流产生电子并设于所述永久磁体的磁场中，所述永久磁体将电子和化合分子发生碰撞，形成带电荷的离子，所述检测器将带电荷的离子转化为电信号，其特征在于，所述系统还包括：气体分析模块，靠近灯丝，用于实时侦测所述灯丝释放的金属蒸气浓度；信号分析模块，与检测器电连接，用于实时监测所述电信号的波动；当所述灯丝释放的金属蒸气浓度超过预设的第一阈值，并且所述电信号的波动超过预设的第二阈值时，所述灯丝诊断为存在故障。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市希立仪器设备有限公司 一种用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统
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