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申请/专利权人：中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：一种热处理设备及热处理设备的工作方法，包括：炉腔；位于炉腔内的晶圆基座；位于炉腔内的温度控制装置，用于控制晶圆基座的温度；位于炉腔外部的温度补偿装置，用于对炉腔的侧壁进行加热补偿；位于炉腔外的晶圆转运装置，用于将炉腔外部的晶圆转运到晶圆基座上；位于炉腔内的吹气装置，用于沿着垂直于晶圆的表面的方向朝着晶圆的表面进行吹气；控制模块，包括温控单元和吹扫单元；温控单元用于在晶圆转运装置将炉腔外部的晶圆转运到晶圆基座上的过程中，控制温度控制装置对晶圆基座进行升温处理，同时控制温度补偿装置对炉腔的侧壁进行加热补偿；减少气流堆积对晶圆表面的损伤，同时减少晶圆表面杂质的产生，具有较广泛的使用范围。
主权项：1.一种热处理设备，其特征在于，包括：炉腔；位于所述炉腔内的晶圆基座；位于所述炉腔内的温度控制装置，用于控制所述晶圆基座的温度；位于所述炉腔外部的温度补偿装置，用于对所述炉腔的侧壁进行加热补偿；位于所述炉腔外的晶圆转运装置，用于将所述炉腔外部的所述晶圆转运到所述晶圆基座上；位于所述炉腔内的吹气装置，用于沿着垂直于所述晶圆的表面的方向朝着所述晶圆的表面进行吹气；控制模块，包括温控单元和吹扫单元；所述温控单元用于在所述晶圆转运装置将所述炉腔外部的所述晶圆转运到所述晶圆基座上的过程中，控制所述温度控制装置对所述晶圆基座进行升温处理，同时控制所述温度补偿装置对所述炉腔的侧壁进行加热补偿；当所述晶圆转运装置的高度与所述晶圆基座的高度之间的差值达到3毫米时，所述吹扫单元用于控制所述吹气装置沿着垂直于所述晶圆的表面朝着所述晶圆的表面进行第一次吹气，且气体沿着平行于所述晶圆的表面方向运动；当所述晶圆固定到所述晶圆基座上时，所述吹扫单元用于控制所述吹气装置沿着垂直于所述晶圆的表面朝着所述晶圆的表面进行第二次吹气，且气体沿着平行于所述晶圆的表面方向运动。
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百度查询： 中芯南方集成电路制造有限公司 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 热处理设备及热处理设备的工作方法
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