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申请/专利权人：复旦大学
摘要：本发明属于光学检测技术领域，公开了一种大陡度光学元件表面面形的测量方法，包括（1）对被测工件调心调平；（2）标定初始位置；（3）将被测面母线分为多个区域；移动对应倾角的反射镜组，适配合适角度的反射镜到色散共焦传感器测量光路；传感器模组移动到轨迹中的预设位置，持续转动被测工件，使传感器模组实现整圈轮廓的测量并保存数据；（4）全部轮廓测量完成，输出测量结果，各个轴和传感器模组恢复到初始安全状态。本发明通过设计一组反射镜来扩展色散共焦传感器的测量范围，避免了传感器在测量过程中绕被测件轮廓母线法向的旋转，引入的误差源更少，降低了误差监测要求，同时本发明具有更简单的机械结构。
主权项：1.一种大陡度光学元件表面面形的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）对被测工件调心调平；（2）标定初始位置；（3）将被测面母线分为多个区域；移动对应倾角的反射镜组，适配合适角度的反射镜到色散共焦传感器测量光路；传感器模组移动到轨迹中的预设位置，持续转动被测工件，使传感器模组实现整圈轮廓的测量并保存数据；（4）全部轮廓测量完成，输出测量结果，各个轴和传感器模组恢复到初始安全状态；所述反射镜组设于色散共焦传感器的测量光路中，包括一个倾角为90°的标定反射镜和多个倾角依次减小的反射镜，传感器的测量光束经倾角为的反射镜偏折后，测量曲面的斜率范围为。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 复旦大学 一种大陡度光学元件表面面形的测量方法
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