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申请/专利权人：澳泰科技有限公司
摘要：本发明涉及一种具有圆柱形加热元件的防粉末三通阀，能够有效抑制粉末从半导体和平板显示器制造设备的排气管线到流入管及流出管以及安装在内部的旋转球周围的大面积沉积和渗透，包括具有反应副产物气体流入的流入管，和让反应副产物气体向不同方向流出的多个流出管的阀壳体；旋转球安装在所述阀壳体内，以控制反应副产物气体的流动方向；以及安装在所述阀壳体内的加热元件，以便能够加热阀壳体内部，所述加热元件以圆柱形加热元件的形式设置，以多个从每个角附近向另一侧深插入的形式安装在阀壳体的一侧，并放置在旋转球周围的多个点上，能够加热阀壳体内部。
主权项：1.一种安装在半导体或平板显示器制造设备管线的防粉末三通阀，用于控制反应副产物气体的流动，其特征在于：包括阀壳体，其具有反应副产物气体流入的流入管，和让反应副产物气体向不同方向流出的多个流出管；旋转球，其可旋转安装在所述阀壳体内，并设有与所述阀壳体的流入管连通的流入孔和与所述阀壳体的多个流出管选择性连通的流出孔，以控制反应副产物气体的流动方向；以及安装在所述阀壳体内的加热元件，以便能够加热所述阀壳体内部，所述加热元件以圆柱形加热元件的形式设置，以多个从每个角附近向另一侧深插入的形式安装在所述阀壳体的一侧，并放置在所述旋转球周围的多个点上，以便能够加热所述阀壳体内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 澳泰科技有限公司 具有圆柱形加热元件的防粉末三通阀
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