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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种基于非晶氧化铜铂氧化镓异质双肖特基结日盲紫外探测器结构及其制备方法，自下而上依次为c面蓝宝石衬底、Ga2O3薄膜、Pt金属膜层、非晶CuO薄膜和TiAu电极对。采用脉冲激光沉积方法制备：在c‑Al2O3衬底上采用PLD方法制备Ga2O3薄膜，在Ga2O3薄膜上离子溅射一层不连续的Pt膜层，然后在较低温度下PLD沉积一层非晶CuO薄膜，形成CuOPtGa2O3双异质肖特基结，最后在膜表面镀上TiAu电极。本发明通过在CuOGa2O3异质结中间插入不连续Pt膜层，利用CuOPt与PtGa2O3异质界面处的肖特基势垒，大幅降低器件的暗电流，同时提高器件的光吸收。
主权项：1.一种基于非晶氧化铜铂氧化镓异质双肖特基结日盲紫外探测器，其特征在于，包括：c-Al2O3衬底；设置在所述c-Al2O3衬底上的Ga2O3膜层：在所述Ga2O3膜层上的部分区域溅射有多个Pt纳米金属点，多个Pt纳米金属点形成不连续Pt金属膜层；设置所述Ga2O3膜层上的第一TiAu电极；设置在所述不连续Pt金属膜层上的非晶CuO膜层；设置在所述非晶CuO膜层上的第二TiAu电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 基于非晶氧化铜/铂/氧化镓异质双肖特基结日盲紫外探测器及其制备方法
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