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申请/专利权人：乐金显示光电科技(中国)有限公司
摘要：本发明涉及一种抽真空装置、镀膜设备以及抽真空方法，抽真空设备包括第一真空泵、第二真空泵、出气管和循环气管，第一真空泵的额定功率大于第二真空泵的额定功率，出气管的入口端与中转腔室连接，出气管的出口端向外排放气体，第一真空泵设置于出气管上，循环气管的两端均与出气管连接，且循环气管的一端位于第一真空泵与出气管的入口端之间，循环气管的另一端位于第一真空泵与出气管的出口端之间，第二真空泵设置于循环气管上。通过使用额定功率较小的第二真空泵进行运作，使得整个抽真空装置的耗电量降低，达到节约能源的目的，有利于降低制造成本。
主权项：1.一种抽真空装置，其特征在于，包括第一真空泵、第二真空泵、出气管和循环气管，所述第一真空泵的额定功率大于所述第二真空泵的额定功率，所述出气管的两端分别为入口端和出口端，所述出气管的入口端用于与中转腔室连接，所述出气管的出口端用于向外排放气体，所述第一真空泵设置于所述出气管上，所述循环气管的两端均与所述出气管连接，且所述循环气管的一端位于所述第一真空泵与所述出气管的入口端之间，所述循环气管的另一端位于所述第一真空泵与所述出气管的出口端之间，所述第二真空泵设置于所述循环气管上。
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权利要求：
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