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申请/专利权人：沈阳工业大学
摘要：本发明公开了一种氧化铈粉体抛光材料的制备方法，本发明采用六水硝酸铈为原料，首先通过反溶剂析出法制备六水硝酸铈球形颗粒，然后在脉冲电场诱导下加热分解生成氧化铈粉体，最终在1500℃下煅烧获得粒度分布均匀，颗粒直径为1μm～3μm且颗粒中纳米级粒子结晶体呈立方结构，具有明显定向结晶取向的高性能氧化铈粉体抛光材料。本发明与常规法制备的氧化铈粉体相比，其显著优点和效果在于，使用本发明氧化铈粉体抛光材料时抛光液消耗量不仅明显减少，抛光时的材料去除率和材料去除深度还分别提高了许多，微观表面的凹坑和划痕显著减少。通过本发明纳米级的精细抛光，使硅片表面纳米级的面型精度和表面粗糙度质量平均提高了一倍以上。
主权项：1.一种氧化铈粉体抛光材料的制备方法，其特征在于，以六水硝酸铈为原料，通过反溶剂结晶析出法和脉冲电场加热相结合的方法制备高性能氧化铈粉体抛光材料，工艺步骤如下：1六水硝酸铈球形颗粒制备；将所述六水硝酸铈溶解于乙醇中，制备成硝酸铈浓度为5mlL-20mlL的乙醇硝酸铈溶液，采用雾化器将所述乙醇硝酸铈溶液雾化成液滴并喷入到所述乙醚溶液中，使所述六水硝酸铈在乙醚乙醇溶液中完全析出并形成球状硝酸铈结晶颗粒；六水硝酸铈完全析出后形成的乙醚乙醇溶液中乙醚与乙醇的容积比为1:1；2在生成所述球状硝酸铈结晶颗粒的乙醚乙醇溶液中加入8gL-12gL的所述酚醛树脂，经充分搅拌溶解和蒸发，去除溶液中的乙醇和乙醚，使所述酚醛树脂析出均匀涂敷在所述球状硝酸铈结晶颗粒的表面并进行干燥；3采用脉冲电场加热，对干燥后的所述球状硝酸铈结晶颗粒进行脉冲电场加热分解，制备出硝酸铈粉体颗粒；4将所述硝酸铈粉体颗粒进一步进行煅烧，脱除所述硝酸铈粉体颗粒表面的碳素涂层并强化其结晶结构，最终获得纳米级高性能氧化铈粉体抛光材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳工业大学 一种氧化铈粉体抛光材料的制备方法
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