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一种硅烷与氯气制备乙硅烷的方法 

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申请/专利权人:郑州格矽科技发展有限公司

摘要:本发明公开了一种硅烷与氯气制备乙硅烷的方法,步骤一:硅烷气与氯气混合后进入固定床反应器进行催化反应,反应得到乙硅烷、氯硅烷、氯化氢的混合物S1;步骤二:混合物S1进入多级精馏装置进行分离,分离得到的高纯氯化氢气体直接进入储罐;步骤三:混合物S1分离得到的乙硅烷直接进入乙硅烷储罐;步骤四:混合物S1分离得到的不同种类的氯硅烷,进入硅烷反应器中反应制备硅烷,硅烷继续参与催化反应,该硅烷与氯气制备乙硅烷的方法,采用了相对较为容易控制的方式进行反应,通过多级分离的方式将不同产物分离出来,副产物可重新作为硅烷生产的原料,从而达到产品循环利用,降低成本,提高了产率。

主权项:1.一种硅烷与氯气制备乙硅烷的方法,其特征在于:包括以下步骤;步骤一:硅烷气与氯气混合后进入固定床反应器进行催化反应,反应得到乙硅烷、氯硅烷、氯化氢的混合物S1;步骤二:混合物S1进入多级精馏装置进行分离,分离得到的高纯氯化氢气体直接进入储罐;步骤三:混合物S1分离得到的乙硅烷直接进入乙硅烷储罐;步骤四:混合物S1分离得到的不同种类的氯硅烷,进入硅烷反应器中反应制备硅烷,硅烷继续参与催化反应。

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权利要求:

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