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申请/专利权人：深圳市华拓半导体技术有限公司

摘要：本发明涉及一种多尺寸兼容的晶圆子母环上料机，包括：机架主体、晶圆子母环载具以及取送料模组，所述的取送料模组中至少具备一个三轴移动机构以及一个晶圆子母环承载机构，所述的晶圆子母环承载机构中至少具备一个上层子母环滑道以及一个下层子母环滑道。所述的晶圆子母环载具包括：载具放置台，其至少包括：放置台本体以及高度调整机构，所述的高度调整机构对称设置在放置台本体的两侧，所述的放置台本体周向分布多个放置台限位块，并与高度调整机构中的定位滑台滑动连接，使其具备轴向升降的能力，用于根据载具的长宽尺寸快速拆换位置，并能够限制不同载具的放置。以及晶圆子母环提篮，并列设置在放置台本体中开设的多个载具放置位内。

主权项：1.一种多尺寸兼容的晶圆子母环上料机，包括：机架主体1、晶圆子母环载具2以及取送料模组3，所述的机架主体1中设置有一工作腔室4，所述的晶圆子母环载具2以及取送料模组3前后并排设置在工作腔室4内，并在晶圆子母环载具2与取送料模组3之间至少开设有一取料通道5；其特征在于，所述的取送料模组3中至少具备一个三轴移动机构31以及一个晶圆子母环承载机构32，所述的晶圆子母环承载机构32中至少具备一个上层子母环滑道321以及一个下层子母环滑道322，所述的上层子母环滑道321与下层子母环滑道322结构相同，所述的下层子母环滑道322与上层子母环滑道321相平行，并通过一贯穿上下层子母环滑道322的连接螺杆323，将上述2个取送料构件固定连接，以在调整其中一取送料构件宽度时，另一取送料构件能够同步作适应性调整；其中，所述的晶圆子母环载具2包括：载具放置台21，其至少包括：放置台本体211以及高度调整机构212，所述的高度调整机构212数量至少为2个，并对称设置在放置台本体211的两侧，所述的放置台本体211外周周向分布多个放置台限位块215，并与高度调整机构212中的定位滑台213滑动连接，使其具备轴向升降的能力，上述的放置台限位块215合围出一个能够根据载具的长宽尺寸快速拆换位置，并满足了不同载具的放置和限位的放置台限位功能的定位空间；以及晶圆子母环提篮22，并列设置在放置台本体211中开设的多个载具放置位214内。

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