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申请/专利权人：君原电子科技(海宁)有限公司
摘要：本发明公开了一种提高静电卡盘陶瓷板烧结平整度的方法，属于静电卡盘陶瓷板烧结技术领域，所述方法包括：计算出各区域的陶瓷质量；得出粉料的烧失量比例；计算各区域填料的质量，各个区域填粉的质量为各区域陶瓷质量与粉料烧失量的比；根据填粉质量、粉料松装密度，以及区域面积大小，计算出该区域填料高度H，填料高度H通过下述公式计算：H＝MρS其中，H为填料高度，M为该区域的填粉质量，ρ为粉料松装密度，S为区域面积；根据上述步骤的计算结果，设计分区填料治具；使用所述分区填料治具，在各自对应的区域中加入相应质量的粉体；加石墨垫板，对静电卡盘陶瓷板进行热压烧结；烧结出炉的陶瓷块，检测平整度。
主权项：1.一种提高静电卡盘陶瓷板烧结平整度的方法，其特征在于，所述方法包括：根据静电卡盘陶瓷块烧结体的密度和面积，先对静电卡盘陶瓷块进行分区域，计算出各区域的陶瓷质量；使用陶瓷块相同的脱脂烧结工艺，对使用的陶瓷粉料进行脱脂烧结处理，得出粉料的烧失量比例；计算各区域填料的质量，各个区域填粉的质量为各区域陶瓷质量与粉料烧失量的比；根据填粉质量、粉料松装密度，以及区域面积大小，计算出该区域填料高度H，填料高度H通过下述公式计算：H＝MρS其中，H为填料高度，M为该区域的填粉质量，ρ为粉料松装密度，S为区域面积；根据上述步骤的计算结果，设计分区填料治具，所述分区填料治具包括外圈和设置在外圈中的若干隔棱，相邻的两个所述隔棱以及相邻的两个所述隔棱之间所夹的部分所述外圈形成一个分区，将分区填料治具分成多个区域；成型过程中，使用所述分区填料治具，在各自对应的区域中加入相应质量的粉体，通过搅拌工具将粉体搅拌均匀，所述分区填料治具上的所有区域填料完毕后，垂直向上取出所述分区填料治具，用工具在原所述隔棱的位置垂直上下插入和拔出，使得粉体在所述隔棱拔出后形成的缝隙中流动，将所述隔棱拔出后形成的缝隙填实；加石墨垫板，对静电卡盘陶瓷板进行热压烧结；烧结出炉的陶瓷块，在大理石平台上进行厚度检测，计算其厚度最小值与最大值的极差值。
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权利要求：
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