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申请/专利权人：东莞市鼎力自动化科技有限公司
摘要：本发明涉及晶圆片清洗设备生产技术领域，尤其涉及一种药剂清洗箱；包括主箱体、管道组件、控温组件及副箱体；主箱体包括箱本体、支撑体及载料件，箱本体设有第一内腔，支撑体设于第一内腔内，支撑体设有第二内腔，第二内腔与第一内腔连通，载料件位于第二内腔内，副箱体与主箱体围设成第三内腔；控温组件包括加热体、冷却体及温控件，冷却体设于支撑体，温控件设于箱本体，加热体的两端连通第三内腔和第一内腔；第一内腔用于容置外界化学药剂，加热体设于主箱体外，通过将化学剂引出主箱体外再对化学药剂加热，实现对化学药剂温度的控制，从而实现降低能耗，延长耗材使用周期的目的，从而实现降低能耗，延长耗材使用周期的目的，降低生产成本。
主权项：1.一种药剂清洗箱，其特征在于：包括主箱体1、管道组件2、控温组件及副箱体4；所述主箱体1包括箱本体11、支撑体12及载料件13，所述箱本体11设有第一内腔101，所述支撑体12设于第一内腔101内，所述支撑体12设有第二内腔102，所述第二内腔102与第一内腔101连通，所述载料件13位于第二内腔102内，所述副箱体4与所述主箱体1围设成第三内腔103；所述控温组件包括加热体31、冷却体32及温控件33，所述冷却体32绕设支撑体12设置，所述温控件33设于箱本体11并位于第一内腔101内，所述加热体31的两端分别连通第三内腔103和第一内腔101。
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百度查询： 东莞市鼎力自动化科技有限公司 一种药剂清洗箱
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