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申请/专利权人：苏州仕净环保科技有限公司
摘要：本发明公开了一种光伏电池片生产镀膜制程尾气处理工艺及系统，该工艺包括以下步骤：S1、将光伏电池片生产过程中产生的镀膜制程尾气通入硅烷燃烧塔中，与通入的空气和氮气混合，燃烧；S2、硅烷燃烧排出的尾气经过除尘器后进入N2O‑NH3高效反应器，尾气中的N2O和NH3于第一温度、催化剂作用下反应生成N2和H2O，高效反应器产生的尾气最后经排气筒排放；所述催化剂为金属M负载二氧化硅颗粒，金属M为镍、铜、铁中的任意一种。本发明的高效处理工艺不仅实现了SiH4、NH3、N2O稳定达标排放，且不会产生二次污染如传统处理工艺氨气经喷淋洗涤后会产生含氨废水，造成二次污染，同时实现了尾气中温室气体N2O减排。
主权项：1.一种光伏电池片生产镀膜制程尾气处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、将光伏电池片生产过程中产生的镀膜制程尾气通入硅烷燃烧塔中，与通入的空气和氮气混合，燃烧；S2、硅烷燃烧排出的尾气经过除尘器后进入N2O-NH3高效反应器，尾气中的N2O和NH3于第一温度、催化剂作用下发生反应生成N2和H2O，高效反应器产生的尾气最后经排气筒排放；其中，所述催化剂为金属M负载二氧化硅颗粒，金属M为镍、铜、铁中的任意一种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州仕净环保科技有限公司 一种光伏电池片生产镀膜制程尾气处理工艺及系统
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