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申请/专利权人：安徽恒坤新材料科技有限公司
摘要：本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法。所述含萘二甲酰亚胺类聚合物具有式1所示结构。所述硬掩模组合物含有含萘二甲酰亚胺类聚合物、交联剂、催化剂、表面活性剂和溶剂。本发明设计并合成具有特定结构的含萘二甲酰亚胺类聚合物，一方面可以提高含有该聚合物的硬掩模组合物的耐刻蚀性能，另一方面也能提高硬掩模组合物的耐热性能，为超精细光刻图案提供一种解决的思路。
主权项：1.一种含萘二甲酰亚胺类聚合物，其特征在于，所述含萘二甲酰亚胺类聚合物具有式1所示结构： 式1中，n为1～300的整数，R1为氢、C1～C10的烷基、C6～C30的芳基或C6～C30的取代芳基，R2为氢或C1～C6的烷基，R3选自以下结构中的至少一种： 其中，表示与其它结构单元的连接键，R4为氢或C1～C4的烷基，R5为氢或羟基。
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权利要求：
百度查询： 安徽恒坤新材料科技有限公司 含萘二甲酰亚胺类聚合物及其制备方法和硬掩膜组合物及其形成图案的方法
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