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申请/专利权人：合肥图迅电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆字符质量检测方法、装置、计算机设备及存储介质，属于半导体检测技术领域。通过获取模板图像中的模板特征点坐标，根据模板特征点坐标得到检测图像的检测特征点坐标；通过模板特征点坐标和检测特征点坐标将检测图像配准得到配准图像；对配准图像和模板图像进行异或处理得到差异点图像，在差异点图像中寻找坏点，计算所有坏点分值；将配准图像与模板图像进行多印统计和少印统计处理，得到多印少印分值；通过计算坏点分值和多印少印分值得到最终相似度分值；根据最终相似度分值判断检测图像中字符质量是否合格。由此，显著提高字符质量检测效率，有助于推进设备实现自动化检测，提升产品质量，具有较强的实用性和适用广泛性。
主权项：1.一种晶圆字符质量检测方法，包括以下步骤：采集并输入晶圆字符图像，所述晶圆字符图像包括模板图像和检测图像；获取模板图像中的模板特征点坐标，根据模板特征点坐标得到检测图像的检测特征点坐标；通过模板特征点坐标和检测特征点坐标将检测图像配准得到配准图像；对配准图像和模板图像进行异或处理得到差异点图像，在差异点图像中寻找坏点，计算所有坏点分值；将配准图像与模板图像进行多印统计和少印统计处理，得到多印少印分值；通过计算坏点分值和多印少印分值得到最终相似度分值，根据最终相似度分值判断检测图像中字符质量是否合格。
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百度查询： 合肥图迅电子科技有限公司 一种晶圆字符质量检测方法、装置、计算机设备及存储介质
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