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一种镀膜机真空室内气体捕集器 

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申请/专利权人:江苏派莱特光电科技有限公司

摘要:本实用新型提供一种镀膜机真空室内气体捕集器,包括制冷管、框架和依次倾斜设置在框架内的若干块挡板,挡板为中空结构,挡板内穿设有若干根制冷管,且框架的两侧分别设置有制冷液进管及制冷液出管,制冷液进管及制冷液出管分别与若干根制冷管的两端部连接。本实用新型挡板为中空结构,挡板内穿设有若干根所述制冷管,则制冷剂通过制冷管后可快速的降低挡板的温度,且挡板降温的温度相对上述的实用新型中更低,则油气分子、水分子充分吸附在挡板表面的效率高,则抽真空的速度及真空度高。

主权项:1.一种镀膜机真空室内气体捕集器,包括制冷管1、框架2和依次倾斜设置在框架2内的若干块挡板3,其特征在于:所述挡板3为中空结构,所述挡板3内穿设有若干根所述制冷管1,且所述框架2的两侧分别设置有制冷液进管4及制冷液出管5,所述制冷液进管4及制冷液出管5分别与若干根所述制冷管1的两端部连接。

全文数据:

权利要求:

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