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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：描述了加热器，加热器具有有顶部和底部的主体，加热器包括热解氮化硼PBN、第一加热器电极、和第二加热器电极。加热器电极可以封闭在电绝缘支座内并连接到单独的汇流条以提供电力。还描述了包括一个或多个加热器的加热器组件和包括该加热器组件的处理腔室。
主权项：1.一种加热器，包括：主体，所述主体具有顶部和底部，所述主体包括热解氮化硼pyrolyticboronnitride，PBN；第一加热器电极，所述第一加热器电极连接到所述主体的所述底部；第二加热器电极，所述第二加热器电极连接到所述主体的所述底部，其中所述主体的所述底部具有第一凹部和第二凹部，所述第一加热器电极在所述第一凹部的边界内，并且所述第二加热器电极在所述第二凹部的边界内，所述第一凹部和所述第二凹部中的每一者在其中具有凸起部分，所述第一凹部和所述第二凹部中的每一者中的凸起部分朝向所述主体的所述底部延伸；以及位于所述第一凹部内的第一支座和位于所述第二凹部内的第二支座，所述第一支座和所述第二支座包括电绝缘材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于原子层沉积（ALD）温度均匀性的热解氮化硼（PBN）加热器
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