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申请/专利权人：深圳优普莱等离子体技术有限公司

摘要：本发明公开了一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法及相关设备，涉及故障报警技术领域，所述方法包括：获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数；若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作；若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理。本发明通过实时监控MPCVD设备的工作参数数据来判断MPCVD设备是否出现异常情况，并针对不同工作参数数据对应的告警程度进行相应的处理，保证了操作人员能够及时处理MPCVD设备的异常情况，有利于金刚石的正常生长。

主权项：1.一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法，其特征在于，所述基于MPCVD设备的故障报警处理方法包括：获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数；所述获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数，之前包括：建立存储数据库，所述存储数据库中包括预设损害程度的工作参数和预设工作参数的数据范围；预设损害程度指正常工作情况下，当工作参数数据超过预设工作参数的数据范围时，对MPCVD设备的一个影响程度，将MPCVD设备产生损伤的工作参数作为预设损害程度的工作参数；预设工作参数的数据范围是指工作参数数据在变化范围内不会影响MPCVD设备的正常工作；接收多种传感器采集的MPCVD设备的工作参数，并根据所述工作参数对所述MPCVD设备的损害程度将所述工作参数进行分类；所述多种传感器包括接触传感器、压力传感器和温度传感器；将对所述MPCVD设备的损害程度超过所述预设损害程度的工作参数作为紧急停机类参数；所述紧急停机类参数包括：水冷流量、反射功率、气体质量流量控制计、火球上跳、压缩空气、功率异常；将对所述MPCVD设备的损害程度未超过所述预设损害程度的工作参数作为手动调控类参数；所述手动调控类参数包括：联锁断开、进水流量、进水温度、无功率输出、驻波、插件水冷板温度、功率异常、驻波、反射功率、插件水冷板温度、进水流量；所述获取MPCVD设备的当前工作参数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数包括紧急停机类参数和手动调控类参数，具体包括：接收多种传感器采集的MPCVD设备的当前工作参数的数据，将所述当前工作参数的数据依次与预设工作参数的数据范围进行对比；判断所述紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；判断所述手动调控类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；当检测当前工作参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围时，需要首先判断当前工作参数属于紧急停机类参数还是手动调控类参数；当判断当前工作参数属于紧急停机类参数时，则进一步判断所述紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；当判断当前工作参数属于手动调控类参数时，则进一步判断所述手动调控类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作；所述若所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和自动紧急停机操作，具体包括：当判断所述紧急停机类参数的数据未超出预设工作参数的数据范围，则继续检测下一个紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，直到所有紧急停机类参数全部检测完毕，并且在整个生产过程中实时监控已通过检测的紧急停机类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；当判断所述紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行告警和控制所述MPCVD设备进行自动紧急停机操作；依次按照预设工作参数检查的次序进行检测，当当前紧急停机类参数的数据未超出预设工作参数的数据范围，则默认通过，并继续检测下一个紧急停机类参数的数据，并在全部工作参数检测完成之前，将对已通过检测默认通过的紧急停机类参数持续进行检测，防止已通过检测的紧急停机类参数数据超出预设工作参数数据的范围；若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理；所述操作人员手动处理包括：手动解除警报或调整所述预设工作参数的数据范围或手动停机；所述若所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理，具体包括：当判断所述手动调控类参数的数据未超出预设工作参数的数据范围，则继续检测下一个手动调控类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围，直到所有手动调控类参数全部检测完毕，并且在整个生产过程中实时监控已通过检测的手动调控类参数的数据是否超出预设工作参数的数据范围；当判断所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围，则进行报警和提示操作人员手动处理；依次按照预设工作参数检查的次序进行检测，当当前手动调控类参数的数据未超出预设工作参数的数据范围，则默认通过，并继续检测下一个手动调控类参数的数据，并在全部工作参数检测完成之前，将对已通过检测默认通过的手动调控类参数持续进行检测，防止已通过检测的手动调控类参数数据超出预设工作参数数据的范围；当判断所述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的数据范围时，MPCVD设备并不会自动紧急停机，而是只进行报警操作，提示操作人员进行调控，当操作人员接收到报警信息时，则在MPCVD设备的显示屏上进行操作，选择手动解除警报或调整所述预设工作参数的数据范围或手动停机，当告警参数并不会实质上影响金刚石的培育或MPCVD设备时则选择通过显示屏解除告警按钮，手动解除警报，使MPCVD设备继续工作，当告警参数进行手动解除警报后重复出现告警，则操作人员通过显示屏上的参数修改框对告警参数工作范围进行手动修改以解除告警，当出现多个手动调控类参数进行告警，则说明MPCVD设备某一局部出现问题，需要进行进一步的判别，因此，为了避免告警参数对金刚石的培育或是MPCVD设备造成损害，则选择自动紧急操作；通过实时监控MPCVD设备的工作参数数据来判断MPCVD设备是否出现异常情况，并针对不同工作参数数据对应的告警程度选择使设备自动停机或者是指示操作人员进行手动调控，以便于操作人员能够及时处理MPCVD设备的异常情况，有利于维持金刚石生长所需要的特定生长环境，同时也保护了MPCVD设备。

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