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申请/专利权人：苏州耀佳金属科技有限公司

摘要：本发明公开了一种光刻机的可调式双工作台系统，包括底架，所述底架顶部通过支撑杆连接顶板，且顶板底面两侧均设置有曝光设备，所述底架顶面设置有活动槽，所述曝光设备底端与活动槽对应设置。本发明通过设置第一工作台和第二工作台，第一工作台和第二工作台相互独立，通过传送带和连接装置使得第一工作台和第二工作台同时运行，一个工作台的晶圆通过曝光设备曝光时，另一个工作台通过对夹板对晶圆做夹持对应等曝光前的准备工作，当曝光完成之后，通过活动装置使得第一工作台和第二工作台变换位置和职能，如此循环往复实现晶圆的高产能，增加了晶圆的曝光效率。

主权项：1.一种光刻机的可调式双工作台系统，包括底架（1），其特征在于：所述底架（1）顶部通过支撑杆连接顶板（2），且顶板（2）底面两侧均设置有曝光设备（3），所述底架（1）顶面设置有活动槽（4），所述曝光设备（3）底端与活动槽（4）对应设置；所述活动槽（4）内侧设置有放置板，所述放置板底部设置有连接装置，所述连接装置安装在活动装置顶面，所述活动装置包括传送带（5）和多个电动滚筒（6），且电动滚筒（6）外接电源设备，传送带（5）套接在多个电动滚筒（6）外侧，且连接装置底面固定在传送带（5）顶部；所述放置板包括第一工作台（7）和第二工作台（8）所述第一工作台（7）和第二工作台（8）顶面与底架（1）顶面齐平，且第一工作台（7）和第二工作台（8）顶面均设置有两个对夹板（9），所述第一工作台（7）和第二工作台（8）顶面设置有与对夹板（9）滑动对应的第一滑槽（10），且第一工作台（7）和第二工作台（8）顶面均设置有晶圆（11），且晶圆（11）顶端与曝光设备（3）底端对应匹配；所述连接装置包括转动板（14），转动板（14）顶面两侧均设置有限位板（15），且限位板（15）底端与转动板（14）固定连接，且限位板（15）顶端设置有挤压头（16），所述第一工作台（7）和第二工作台（8）底部两侧面均设置有凹槽（17），所述挤压头（16）端部与凹槽（17）对应卡扣，且挤压头（16）端部以及凹槽（17）的剖面外形均设置为等腰梯形结构；所述挤压头（16）底部设置有第二滑槽（18），第二滑槽（18）内部设置有限位杆（19），且限位杆（19）两端分别与第二滑槽（18）两端部固定连接，所述限位板（15）顶部套接在限位杆（19）表面，所述限位杆（19）表面套接第一弹簧（20），所述第一弹簧（20）处于两个限位板（15）之间。

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