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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明提供了一种加热盘倾斜角度的调节装置、方法及加热盘。所述加热盘倾斜角度的调节装置包括：第一法兰，分别固定连接加热盘和第一钢珠保持架，其中，所述第一法兰的下侧具有第一导向斜面；第二法兰，连接外部的固定装置，且其下侧具有第二导向斜面，其中，所述第二法兰的上侧经由多个第一钢珠连接所述第一法兰下侧的所述第一导向斜面，而其下侧的所述第二导向斜面经由多个第二钢珠连接所述第一钢珠保持架的上侧；所述第一钢珠保持架，与所述第一法兰一起夹紧所述第二法兰，以稳定所述角度调节装置；以及调节部，用于横向挤压所述第一法兰的侧面，向其提供一横向偏移量，以调节所述第一法兰及所述第一钢珠保持架的倾斜角度。
主权项：1.一种加热盘倾斜角度的调节装置，其特征在于，包括：第一法兰，分别固定连接加热盘和第一钢珠保持架，其中，所述第一法兰的下侧具有第一导向斜面；第二法兰，连接外部的固定装置，且其下侧具有第二导向斜面，其中，所述第二法兰的上侧经由多个第一钢珠连接所述第一法兰下侧的所述第一导向斜面，而其下侧的所述第二导向斜面经由多个第二钢珠连接所述第一钢珠保持架的上侧；所述第一钢珠保持架，与所述第一法兰一起夹紧所述第二法兰，以稳定所述角度调节装置；以及调节部，用于横向挤压所述第一法兰的侧面，向其提供一横向偏移量，以调节所述第一法兰及所述第一钢珠保持架的倾斜角度。
全文数据：
权利要求：
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