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申请/专利权人：鼎睿融泽(杭州)企业咨询管理有限公司
摘要：本发明公开了一种铝掺杂的氧化锌纳米粉体及其制备方法和应用，所述纳米粉体为实心粉体，所述纳米粉体的D50为10‑30um，所述纳米粉体的密实度为1.2‑1.4gcm3。本发明的有益效果为：发明所述纳米粉体为实心球体，其D50为10‑30um，密实度为1.2‑1.4gcm3。所述纳米粉体能通过烧结产生结晶微结构更均匀、晶体尺寸更小的陶瓷靶材，且能使所得陶瓷靶材在大尺寸硅晶圆上实现稳定的400纳米以上厚镀膜。
主权项：1.一种铝掺杂的氧化锌纳米粉体，其特征在于，所述纳米粉体为实心粉体，所述纳米粉体的D50为10-30um，所述纳米粉体的密实度为1.2-1.4gcm3。
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