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申请/专利权人：赛默飞世尔科学测量技术有限公司
摘要：描述了一种用于在定位于衬底上的材料的材料量的测量中补偿衬底变化的方法。该方法包括接收检测到的X射线信号，用于在衬底的表面上的位置处的材料的测量；以及基于接收到的X射线测量信号和用于衬底的一组预定补偿参数来确定材料量，该组补偿参数根据衬底表面上的位置而变化。
主权项：1.一种用于补偿定位在衬底上的材料的材料量的测量中的衬底变化的方法，所述方法包括：接收检测到的X射线信号，所述X射线信号用于在所述衬底的表面上的位置处的所述材料的测量；以及基于接收到的X射线测量信号和用于所述衬底的一组预定补偿参数来确定材料量，所述一组补偿参数根据所述衬底的表面上的位置而变化。
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百度查询： 赛默飞世尔科学测量技术有限公司 衬底合金影响补偿
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