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申请/专利权人：长沙韶光芯材科技有限公司
摘要：本发明公开了一种相移掩模腐蚀液及其制备方法和应用，属于湿法腐蚀技术领域。本发明提供的相移掩模腐蚀液包括硅基膜层腐蚀液、铬基膜层腐蚀液和钼硅膜层腐蚀液；按重量份计，所述硅基膜层腐蚀液的制备原料为：碱300～600份；表面活性剂10～30份；水400～1000份。本发明提供的相移掩模腐蚀液，能够有效提高相移掩模的腐蚀速率、腐蚀平整度，拓宽了腐蚀的可选条件，并避免对基底层的腐蚀。本发明还提供了上述相移掩模腐蚀液的制备方法和应用。
主权项：1.一种相移掩模腐蚀液，其特征在于，所述相移掩模腐蚀液包括硅基膜层腐蚀液、铬基膜层腐蚀液和钼硅膜层腐蚀液；按重量份计，所述硅基膜层腐蚀液的制备原料为：碱300～600份；表面活性剂10～30份；水400～1000份。
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百度查询： 长沙韶光芯材科技有限公司 一种相移掩模腐蚀液及其制备方法和应用
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