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申请/专利权人：TDK股份有限公司
摘要：一种包括微桥结构的传感器，其中微桥结构包括凹形几何形状、在微桥结构的表面上的第一电极、在微桥结构的表面上的第二电极、以及耦合到微桥结构覆盖在第一电极和第二电极上方并且暴露于环境的化学感测材料。化学感测材料覆盖第一电极和第二电极并且在微桥结构的凹形几何形状内，使得化学感测材料在传感器的制造期间沉降进入到微桥结构的凹形几何形状中，并且其中化学感测材料具有响应于环境中的气体浓度的电阻。还公开了一种具有凸形几何形状和两个感测部分的微桥结构，每个感测部分包括一对电极和气敏膜，以及公开了一种具有微凹坑结构的微桥结构，以在制造期间影响化学感测材料的流动。
主权项：1.一种传感器，包括：微桥结构，其中所述微桥结构包括凹形几何形状；第一电极，所述第一电极在所述微桥结构的表面上；第二电极，所述第二电极在所述微桥结构的所述表面上；以及化学感测材料，所述化学感测材料耦合到所述微桥结构、覆盖在所述第一电极和所述第二电极上方并且暴露于环境，其中所述化学感测材料覆盖所述第一电极和所述第二电极并且位于所述微桥结构的所述凹形几何形状内，使得所述化学感测材料在所述传感器的制造期间沉降进入到所述微桥结构的所述凹形几何形状中，并且其中所述化学感测材料具有响应于所述环境中的气体浓度的电阻。
全文数据：
权利要求：
百度查询： TDK股份有限公司 传感器装置的微桥设计
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