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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本发明公开了基于平面结构的光电角度测量仪，其以无机半导体材料作为衬底，在衬底表面设置掺杂区域，并在掺杂区域的一侧设置一个欧姆电极、另一侧设置一个肖特基电极，且欧姆电极及肖特基电极与掺杂区域的距离相同；以两个电极之间的掺杂区域作为光照区域，当光源入射角改变时，器件在第一波长与第二波长处的光电流之比呈线性变化，由此，基于第一波长与第二波长处的光电流之比获得光源入射角。本发明的器件结构简单、测量方法简易、测量结果准确。
主权项：1.基于平面结构的光电角度测量仪，其特征在于：所述光电角度测量仪以无机半导体材料作为衬底，在衬底表面设置掺杂区域，并在掺杂区域的一侧设置一个欧姆电极、另一侧设置一个肖特基电极，且欧姆电极及肖特基电极与掺杂区域的距离相同；以两个电极之间的掺杂区域作为光照区域，当光源入射角改变时，器件在第一波长与第二波长处的光电流之比呈线性变化，由此，基于第一波长与第二波长处的光电流之比获得光源入射角。
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百度查询： 合肥工业大学 基于平面结构的光电角度测量仪
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