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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：一种用于纳米位移测量的高级次衍射三角光栅及其制造方法，光栅微观结构为等腰三角形，具有对称的底角即闪耀角；三角光栅的闪耀角采用傅里叶变换法变换光栅栅齿结构得到，选择所需的光栅级次成为闪耀级次，以此求出三角光栅的闪耀角；通过光栅周期和闪耀角的匹配，实现对某一级次衍射光的衍射效率的设计；制造方法是先制造高精度三角光栅母版；然后基于高精度三角光栅母版，进行三角光栅复制，形成复制光栅；最后在复制光栅表面制备出高反射率的反射膜，从而形成用于纳米位移测量的高级次衍射三角光栅；本发明三角光栅能够显著增加高级次衍射光的衍射效率，使用三角光栅具有更高的位移分辨率和更高的测量精度，位移信号具有更高的信噪比。
主权项：1.一种用于纳米位移测量的高级次衍射三角光栅，其特征在于：光栅微观结构为等腰三角形，具有对称的底角，即闪耀角；三角光栅的闪耀角采用傅里叶变换法变换光栅栅齿结构得到，选择所需的光栅级次成为闪耀级次，以此求出三角光栅的闪耀角；通过光栅周期和闪耀角的匹配，实现对某一级次衍射光的衍射效率的设计。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种用于纳米位移测量的高级次衍射三角光栅及其制造方法
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