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申请/专利权人：合肥睿翼创智技术开发有限公司
摘要：本发明一种多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备，旨在解决多分镜头无掩膜光刻系统中数据处理路径长、处理单元要求高及实时性不足的问题，通过提出一种反倾斜直接帧化法，对各成像区域条带图形进行反倾斜处理，直接构造帧化矩形并进行多边形填充，最终合并为全区域帧图像，实现多分帧图像的实时生成，通过本发明的实施，减少了中间步骤，缩减了数据量和传输时间；优化了空间光调制器和数据处理单元的使用，减少了主机硬件的投入；提高了曝光响应时间和单位时间内的制程能力，增强了系统的实时性，提升了制程能力和曝光效率。
主权项：1.一种多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，包括以下步骤，S1：根据扫描倾斜角，对给定的各成像区域条带图形进行反倾斜处理，得到各成像区域的待曝光条带图形；根据给定的各成像区域扫描起始位置和扫描结束位置确定帧化起始位置和帧化结束位置；S2：根据成像区域的配置和上述所得的各成像区域的帧化起始位置构造各成像区域帧化矩形；S3：利用上述所得的各成像区域帧化矩形和相应的成像区域的待曝光条带图形的截窗，按像方像素精度对截窗内的多边形进行填充处理，得到各成像区域的区域帧图像；S4：通过判定当前位置的各成像区域帧化矩阵内像素坐标与各成像区域的条带图形之间的包含关系，确定当前帧化位置的各成像区域所有像素点的开关，得到各成像区域的区域帧图像；S5：按各成像区域所配置的行序和列序，合并各区域帧图像成全区域帧图像；S6：更新当前帧化位置和各成像区域的帧化矩阵；S7：重复上述S3到S6过程，直至帧化结束。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥睿翼创智技术开发有限公司 多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备
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