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申请/专利权人：信利(仁寿)高端显示科技有限公司
摘要：本发明公开了一种超窄线宽的CF制作方法及液晶显示装置，工艺包括：对白色玻璃基板进行清洗后涂胶，得到第一CF基板，对第一CF基板进行预固化处理，得到第二CF基板；对第二CF基板依次进行曝光处理、显影处理，得到第三CF基板；将UV光均匀照射在第三CF基板上，进行UV固化，得到第四CF基板；对第四CF基板进行流平处理，然后将第四CF基板放入预热好的烘箱中，进行主固化，得到最终CF基板。通过在对CF基板的负性光刻胶在UV光照射后曝光显影之后，再次发生表面固化反应，从而使线宽图形维持曝光显影后原状，从而再进行主固化、将负性光刻胶材料在高温设备中烘烤时，不再容易产生形变或者坍塌，从而解决了线宽底部出现的BM胶残留问题。
主权项：1.一种超窄线宽的CF制作方法，特征在于，包括：步骤100、对白色玻璃基板进行清洗后涂胶，得到第一CF基板，对所述第一CF基板进行预固化处理，得到第二CF基板；步骤200、对所述第二CF基板依次进行曝光处理、显影处理，得到第三CF基板；步骤300、将UV光均匀照射在所述第三CF基板上，进行UV固化，得到第四CF基板；步骤400、对所述第四CF基板进行流平处理，然后将所述第四CF基板放入预热好的烘箱中，进行主固化，得到最终CF基板。
全文数据：
权利要求：
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